Вакуумдук карбюризация – бул вакуумда даярдалган материалды жылытуу.Ал критикалык чекиттен жогору температурага жеткенде, ал бир аз убакытка туруп, газсызданат жана оксид пленкасын алып салат, андан кийин карбюризация жана диффузия үчүн тазаланган карбюризатор газына өтөт.Вакуумдук карбюризациялоонун температурасы жогору, 1030 ℃ге чейин жана карбюризациялоо ылдамдыгы тез.Карбюрленген бөлүктөрдүн беттик активдүүлүгү газсыздандыруу жана кычкылсыздандыруу жолу менен жакшыртат.Кийинки диффузия ылдамдыгы өтө жогору.Карбюризация жана диффузия талап кылынган беттик концентрацияга жана тереңдикке жеткенге чейин кайра-кайра жана кезектешип жүргүзүлөт.
Vacuum carburizing тереңдик жана жер үстүндөгү концентрациясын көзөмөлдөөгө болот;Ал металл бөлүктөрүнүн үстүнкү катмарынын металлургиялык касиеттерин өзгөртө алат жана анын эффективдүү карбюризация тереңдиги башка ыкмалардын чыныгы карбюризация тереңдигине караганда тереңирээк.